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Alt 27.01.2009, 17:40   #1   Druckbare Version zeigen
DerNikolaus  
Mitglied
Themenersteller
Beiträge: 31
Kupfer ätzen mit TMAH

Hallo,
ich habe auf meinem Wafer eine Seedlayer aus Kupfer Darüber befindet sich Nickel wenn ich das ganze in Tetramethylammoniumhydroxid (25%) gebe löst sich das Kupfer ab. Ich vermute mal das sich Cu mit dem OH- zu CU(OH)2 verbindet.
Beide Metalle haben ein Kubisch- flächenzentriertes Gitter wieso wird Cu geätzt und Ni nicht. Alleine am Elektrochemischen Potential kann es nicht liegen, Cu hat +0,35 und wird geätzt Ni hat -0,23 und wird nicht geätzt, AL hat -1,66 und wird auch geätzt.
Kann mir da wer weiterhelfen?
Die zweite Frage wäre wieso ätzt TMAH Si mit 8% am schnellsten?
Vielen dank für eure Hilfe
DerNikolaus ist offline   Mit Zitat antworten
Alt 27.01.2009, 19:11   #2   Druckbare Version zeigen
Nobby Männlich
Mitglied
Beiträge: 13.688
AW: Kupfer ätzen mit TMAH

Kupfer bildet eher einen Amminkomplex. Kupferhydroxid ist schwerloeslich.

b.w. Wenn sich Nickel nicht sich nicht loest, wie dicht ist die Nickelschicht, da ja das darunterliegende Kupfer geloest wird. Seedlayer sind gesputtert oder auch stromlos reduktiv abgeschieden, wobei vermutlich Nickel galvano- elektrochemisch abgeschieden wurde. Beide Metalle haben andere Qualitaeten. Wenn auch stromlos, dann gibt es normalerweise auch noch einen Palladiumlayer als Catalyst oder Aktivator.
__________________
Vena lausa moris pax drux bis totis
Nobby ist offline   Mit Zitat antworten
Alt 27.01.2009, 19:24   #3   Druckbare Version zeigen
Peter Schmidt Männlich
Mitglied
Beiträge: 687
AW: Kupfer ätzen mit TMAH

Hallo, also an der Bildung eines Amminkomplexes kann es meines Erachtens nicht liegen, denn das Tetramethylammonium-Ion hat ja kein freies Elektronenpaar mehr, mit dem es komplexieren kann. Ich habe allerdings keine plausible Erklärung für den Effekt. Löst sich denn das Kupfer als metallisches Kupfer ab oder als Kupfersalz?

Gruß Peter
Peter Schmidt ist offline   Mit Zitat antworten
Alt 28.01.2009, 00:25   #4   Druckbare Version zeigen
DerNikolaus  
Mitglied
Themenersteller
Beiträge: 31
AW: Kupfer ätzen mit TMAH

Hallo,
vielen Dank für die schnellen Antworten.
Die Kupfer Seedlayer wird in einer PVD aufgedampft. Die Daten zur dicke hab ich gerade nicht da, war aber wahrscheinlich zwischen 10nm und 30nm. Nickel war galvanisch ~500nm.
Das Alu das sich gelöst hat war gesputtert und ca 300nm.


Die TMAH im Becken hatte erst einen leichten lila Farbton da sich ein Dichtring und anschließen ein Schicht aus AZ111 Lack aufgelöst haben. Nachdem Sich das Alu und ein weiter Viton Ring gelöst haben war sie braun.
Ich setzte demnächst eine neue Mischung an mit 8%TMAH (zuvor 25%), kann ich an der Farbe erkenne wie sich das Cu gelöst hat?
DerNikolaus ist offline   Mit Zitat antworten
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Alt 28.01.2009, 08:18   #5   Druckbare Version zeigen
DocKarsten Männlich
Mitglied
Beiträge: 47
AW: Kupfer ätzen mit TMAH

Kupfer(II)-hydroxid ist eine undurchsichtige, gallertige, hellblaue Masse, der Hydroxo-Komplex ist durchsichtig blau, der Tetrammin-Komplex tief dunkelblau (tintenblau).
DocKarsten ist offline   Mit Zitat antworten
Alt 28.01.2009, 10:37   #6   Druckbare Version zeigen
FK Männlich
Moderator
Beiträge: 60.898
AW: Kupfer ätzen mit TMAH

Dass sich das Kupfer löst, dürfte mit der Bildung von Hydroxokomplexen zusammenhängen (unter Mitwirkung von Sauerstoff).

Gruß,
Franz
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ätzen, kupfer, tmah

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