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Alt 12.06.2006, 20:10   #4   Druckbare Version zeigen
Marten Männlich
Mitglied
Beiträge: 4
AW: Rasterelektronenmikroskop Funktionsweise

Low Vac REMs gibts auch. Da lässt man gewollt Atmosphäre rein.
Variable pressure bis zu 3000 Pa. Man benutzt dieses Feature für Proben, die nicht hochvakuumtauglich sind, sehr strak gasende Proben oder sehr feuchte Proben.

Man hat dann allerdings einen sog. "Skirt-effect", der durch die verminderte freie Weglänge der Elektronen hervorgerufen wird. Bei mir ist im Zeiss EVO 60 ein sog. VPSE-Detektor vorhanden (variable pressure secondary electron detector). Funktioniert sehr gut bei der Betrachtung von verölten Proben.

Der Vorteil ist dabei, wie schon oben genannt, dass man die Proben nicht bedampfen muss weil durch die vorhandene Atmosphäre ein Ladungsausgleich zwischen Probe und Umgebung vor sich geht, sprich, die Probe läd sich nicht auf und leuchtet wie ein Weihnachtsbaum bevor sie in einer schwarzen Elektronenwolke verschwindet.

Die counts sind die Röntgenquanten, die der EDX-Detektor aufnimmt. Bei langsamen Detektoren liegt die Regel so bei 2 - 3 kcps, wenn mehr reinlaufen, bekommt man sogenannte "Totzeiten", die den Detektor lahmlegen. Moderne Detektoren (Xflash von Roentec u.ä) können allerdings sehr viel höhere kcps-rates verarbeiten, ich liege bei 20 keV meist so zwischen 30 - 80 kcps und bekomme recht schnell auch vernünftige Mappings hin. Linescans und spot-Analysen gehen sowieso megafix damit.

Gruss

Marten
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Fahre nie schneller als Dein Schutzengel fliegen kann

Geändert von Marten (12.06.2006 um 20:15 Uhr)
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