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Alt 06.05.2010, 15:05   #1   Druckbare Version zeigen
Irrlicht Männlich
Mitglied
Themenersteller
Beiträge: 2.220
Tiefenprofil im µm-Bereich abscannen

Hallo,

ich habe mir seit neuestem in den Kopf gesetzt, die von mir untersuchten Wafer nicht nur komplett aufzulösen oder in irgendwelche Plasmen zu halten, sondern auch schrittweise anzuätzen, um ein Tiefenprofil der Werkstoffe zu erhalten.

Wenn ich nun so einen Tropfen mit Ätzlösung von der Oberfläche abnehme, sehe ich, dass offensichtlich der Abtrag nicht gleichmäßig ist (alles andere hätte mich auch gewundert), also in der Mitte tiefer geätzt wurde als an den Rändern.

Welche Möglichkeiten gibt es, das Tiefenprofil dieser Ätzstellen zu untersuchen? Die Punkte haben einen Durchmesser von 0,5 bis 2 cm und die Tiefe bewegt sich so im Mikrometerbereich. Ich dachte ja zuallererst an sowas wie ein Rasterkraftmikroskop, aber das wäre ja wie mit Kanonen auf Spatzen...
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"Die Aussage 'Kein Mensch wäre so dumm, so etwas zu tun' stimmt nicht. Irgend jemand wäre immer so dumm, etwas wirklich Dummes zu tun - nur um zu sehen, ob es möglich wäre. Wenn du in einer versteckten Höhle einen Schalter anbringst und ein Schild aufhängst 'ENDE-DER-WELT-SCHALTER. BITTE NICHT DRÜCKEN', hätte das Schild nicht einmal Zeit zu trocknen."
-- Terry Pratchett - "Thief Of Time"
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