Anzeige


Einzelnen Beitrag anzeigen
Alt 21.07.2004, 10:16   #7   Druckbare Version zeigen
Ellipson Männlich
Mitglied
Beiträge: 931
AW: Reinigungsflüssigkeit für Mikrochips

Leider hinterläßt selbst 18MOhm*cm Wasser auf Si Schlieren, was aber auf eine verunreinigte Oberfläche (bzw. unvollständige Reinigung) hindeutet. "Normale" Lösemittel sollten ggf. nochmals destilliert werden, wir verwenden für die Reinigung von Si grundsätzlich Lösemittel mit VLSI-Grade. Auf Benetzungsmittel sollte eigentlich verzichtet werden können, da die Oberflächenspannung der Alkohole ausreichend gering ist. Ich würde mit 2-Propanol reinigen und fusselfreien Zellstoff verwenden (Reinraumtuch).
Leider gibt es bei einer Kontaminaion der Oberfläche mit z.B. Glas- oder Si-Bruch noch das Problem, daß zu einem gewissen teil mechanisch gereinigt werden muß (sieht man sehr schön an der Streuung bei Beleuchtung mit einem Laser). Bei einem CCD-Chip sollten kleine Partikel aber ggf. nicht auffallen.

Gruß
Martin
Ellipson ist offline   Mit Zitat antworten
 


Anzeige